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Micro LED

Inspection system

광학 측정 방식에 기반한 독자적인 기술로 고해상도, 고속, 높은 색-정확도 분석 구현과 비파괴 및 비접촉 방식으로 전체 웨이퍼를 검사합니다. 

 

 

  • Spectral Information 
    대량의 스펙트럼 검사.


  • High-speed measurement
    초당 200,000개 이상 스펙트럼 정보 획득.


  • High resolution
    세계 정상 수준의 고해상도 측정.


  • Simultaneous inspection of 
    appearance and PL
    단 한번의 스캔으로 외형 및 PL 분석.




저출력 빛을 이용한 광학 기반의 비접촉 방식 검사 기술로 물리적손상에 약한 Micro LED를 손상 없이 기존 접촉 방식의 검사 방식보다 약 3,000배 빠른 검사 기술을 제공합니다.



단 한번의 측정으로 Micro LED의 외형, PL 이미지 그리고 발광 세기 정보를 제공합니다.


 




General Specifications 



 Spectral Mapper

세계 최정상의 고속 측정 기술.


Breaking through technology limits

측정 기술에 대한 한계 돌파


디스플레이를 위한 Micro LED의 정확한 색 발광은 과거 조명 LED보다 중요해 졌습니다. 작아진 Micro LED의 개별 색분석은 기존 PL mapper로는 어려우나 초당 20만개의 분광 스펙트럼을 측정하는 WEVE의 기술은 이 문제를 극복했습니다.







Measurement speed comparison

측정 성능에 대한 속도 비교


 


 

         고속 측정 성능 비교표


  

    비교 항목


기존 
P
L Mapping 기술

WEVE Technique


    검사에 필요한
    분광 
데이터 개수

  
약 1억 개 이상
약 2.5억 개 이상



    측정 소요 시간


8 Day30min

  
    측정 속도 (예상)


초 당 약 34개
데이터 획득

초당 약 20만개 
이상의 데이터 획득



 High speed spectrum Imaging

고속 스펙트럼 이미징 기술.


Inspection by spectral inf 

분광 정보에 의한 검사 기술




웨이퍼 전체에 대한 고해상도 분광 정보를 통해 Micro LED의 정확한 색표현 정보 획득 능력을 향상 시켰습니다.


  • - 피크 정보(중심 파장) 
  • - FWHM(피크 폭)  
  • - XY 색좌표


Mapping spectrum imaging

분광 맵핑 이미지 정보







                                                     

Micro LED Solution 

R&D History.


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