광학 측정 방식에 기반한 독자적인 기술로 고해상도, 고속, 높은 색 정확도 분석 구현과 비파괴 및 비접촉 방식으로 전체 웨이퍼를 검사합니다. 

• Spectral Information 
  대량의 스펙트럼 검사.

• High-speed measurement
  초당 200,000개 이상 스펙트럼 정보 획득.

• High resolution
  세계 정상 수준의 고해상도 측정.

• Simultaneous inspection of appearance and PL
  단 한번의 스캔으로 외형 및 PL 분석. 

저출력 빛을 이용한 광학 기반의 비접촉 방식 검사 기술로 물리적손상에 약한 Micro LED를 손상 없이 기존 접촉 방식의 검사 방식보다 약 3,000배 빠른 검사 기술을 제공합니다.

단 한번의 측정으로 Micro LED의 외형, PL 이미지 그리고 발광 세기 정보를 제공합니다.

General Specifications 

Spectral Mapper

세계 최정상의 고속 측정 기술.

디스플레이를 위한 Micro LED의 정확한 색 발광은 과거 조명 LED보다 중요해 졌습니다. 작아진 Micro LED의 개별 색분석은 기존 PL mapper로는 어려우나 초당 20만개의 분광 스펙트럼을 측정하는 WEVE의 기술은 이 문제를 극복했습니다.

Comparison of high-speed measurement performance

측정 성능에 대한 속도 비교.

High speed spectrum Imaging

고속 스펙트럼 이미징 기술.

Inspection by spectral inf 

분광 정보에 의한 검사 기술.

웨이퍼 전체에 대한 고해상도 분광 정보를 통해 Micro LED의 정확한 색표현 정보 획득 능력을 향상 시켰습니다.

• - 피크 정보(중심 파장) 
• - FWHM(피크 폭)  
• - XY 색좌표
  

Mapping spectrum imaging.

분광 맵핑 이미지 정보.

Micro LED Solution 

R&D History.